来源:生意社 发布日期:2013-04-18 09:45:49 阅读量:
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记者从市科技局获悉,在省、市科技部门的大力支持下,由我市七一八研究所牵头,联合相关单位承担的“高纯电子气体研发及产业化”项目,正式立项列入国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大科技专项(02专项),获中央财政经费支持10008万元。据悉,这是我市首次承担国家重大科技专项,也是河北省第二家承担国家重大科技专项的单位,标志我市科技发展的重大进步。
【建材网】记者从市科技局获悉,在省、市科技部门的大力支持下,由我市七一八研究所牵头,联合相关单位承担的“高纯电子气体研发及产业化”项目,正式立项列入国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大科技专项(02专项),获中央财政经费支持10008万元。据悉,这是我市首次承担国家重大科技专项,也是河北省第二家承担国家重大科技专项的单位,标志我市科技发展的重大进步。
作为02专项“高纯电子气体研发及产业化”分项的牵头和主要承担单位,中船重工第七一八研究所将组织江苏南大光电等单位,共同研究开发集成电路制造工艺用特种气体制备关键共性技术,开发IC制造过程离子注入、扩散、刻蚀等关键工艺用电子气体和源产品,形成批量生产,构建支撑我国特种电子气体技术发展的人才团队和研发平台,为我国极大规模集成电路制造领域持续发展奠定基础。其中,七一八研究所将独自投资10702.5万元,进一步优化高纯三氟化氮、六氟化钨工艺技术,开发10种高纯电子气体,完成10种高纯混合气体配气系统研发,建成年产1000吨高纯三氟化氮生产线和150吨六氟化钨生产线。预计项目完成后年将实现产值6.5亿元。
据悉,国家重大科技专项是《国家中长期科学与技术发展规划纲要(2006-2020年)》的重要内容,是为了实现国家目标,通过核心技术突破和资源集成,在一定时限内完成的重大战略产品、关键共性技术和重大工程。
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