产品结构1分32光分路器

产品结构1分32光分路器

结合课题组十几年的科研技术积里，通过与阿南仕佳光子科技有限公司合作，进行了光纤列户平面光波国路(PLC)光分路昌产业化项目(以下简称PLC党分路器产业化项目)的研究。项目实施以来成效盟着，不仅建立了国内先进完善的PLC光分险各品围芯片生产线，解决了系列光分路路结构设计、关键工艺以及批量化生产多项技术难题，还成功实现T182xNC1-2.4.8.16.32.61.128两大系列及其位特种PLC光分路器的产业化一。使同类艺片达列国内***和国际先进水平，陪器之片长期体赖进口的植动局面.为发展。光纤列户”和“宽带战略”作出了重要贡献。为此，该项目获得T2014年中国科学院科技促进发展实一科技贾献实一等实。

这一研究成果得到了中国科学院的充分肯定。经过多年研究，项目组已取得了石英基二氧化硅光分路备研发及产业化成果，采用折射率兼0.49%的二氧化陆光波导。设计制备出1825010-2.4.8.16.32.64189二个系列光路备，解决了通道均匀性，液长均门性偏预相关性多个关键问题。系列光分酶备在6英寸品围生产线上金部量产，光分路器良率达99口上，为我国多达百会家利装企业提供高质量的PLC光分路各品图及芯片。光波导，PLC光分路器规模化制备工艺在我国尚属空白，本项目引进了国际上先进的材料生长，刻蚀等关键设备，对生长波导材料折射事和厚度均匀性及刻蚀随直度进行了系统、深人的研究和优化。我们将光波导揽耗降至0.02dB/cm.与国外报道水平相当。

井制备出国际上高输出路数的紧凑型1x128和2x128PLC光分路路。图是保题组设计大通道数1x128D光分路器结构，采用sparkle级联方式，器件尺寸仅27.2mm1x17mm，图2是1x128光分路昌芯片的测试结果，在波长1.25μm-1.65μm范围内，L.UNIP和WDL分别小于23.01B.1.43dB.0.92dB.在波长1.31日m.1.49μm和1.55um处，通过与东亿/酷亿合作，我们建成6400an'的PLC光分路器6英寸晶圆生产线(见围3).引进了具有国际先进水平的PECVD材料生长设备、APS光波导刻蚀设备、准确接触式光刻机.低压化学气相沉积多晶础生长设备、高盈遇大炉、匀胶机。